CMP抛光机

FD系列单面精密抛光设备:用于半导体材料精密抛光,具备先进技术与稳定性能
单面精密抛光设备,半导体材料,PLC+触摸屏,变频调速,压力闭环控制,FD - 7104PA,FD - 8104PA,FD - 9104PA,蓝宝石衬底,抛光加工
本设备主要用于蓝宝石衬底等半导体材料精密抛光。采用先进机械结构与控制方法,效率高、运行稳。有PLC + 触摸屏控制系统,参数设置操作简便。主电机变频调速,工件研磨压力闭环控制。有FD - 7104PA、FD - 8104PA、FD - 9104PA三种型号,各有不同规格参数,能满足多样需求。